在近代科學(xué)術(shù)的許多域中對(duì)各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此，更加和迅速的測(cè)定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實(shí)際作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測(cè)定光學(xué)參數(shù)，如：布儒斯角法測(cè)介質(zhì)膜的折射率，干涉法測(cè)膜厚，其它測(cè)膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、精度、非破壞性測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，因而，橢圓偏振法測(cè)量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、學(xué)等諸多域得到廣泛應(yīng)用。

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